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產(chǎn)品類型 高耐壓型,抗電磁干擾 
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm 
產(chǎn)品精度 ±1%F.S. 
重復(fù)精度 ±0.2% FS 
線性 ±0.5% F.S. 
響應(yīng)時(shí)間 ≤10sec 
工作溫度范圍 (5~45)°C 
耐壓 10MPa 
密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon 
輸入輸出信號(hào) (0~5)VDC 
電源 ±15V 
閥類型 - 無(wú) - 
溫度系數(shù) - 無(wú) - 
零點(diǎn)飄移指標(biāo)  - 無(wú) - 
電氣連接 D sub 15 pins Male 
工作壓差范圍 (0.2~0.6) MPa (10slm<F.S.),(0.2~0.8) MPa (F.S.≤10slm) 
漏率 1×10-10atm?cc / sec He(1×10-11 Pa?m3 / sec He) 
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” 
表面化學(xué)成分 - 無(wú) - 
表面粗糙度 - 無(wú) - 
抗電磁干擾  CE 
重量 1Kg